arXiv:2504.10281v1 Announce Type: cross 摘要：传统上，原子尺度材料的表征需要数月至数年的专业培训的人类专家。即使是经过专业培训的人类操作员，在检查诸如二维（2D）结构等新发现的材料时，准确而可靠地表征仍然具有挑战性。这一瓶颈推动了需求，即能够无需大型训练数据集就能理解研究目标的完全自主实验系统的开发。在这项工作中，我们介绍了ATOMIC（自主光学显微镜与智能表征技术），这是一个端到端的框架，结合了基础模型以实现对2D材料的完全自主、零样本表征。我们的系统结合了视觉基础模型（即Segment Anything Model）、大型语言模型（即ChatGPT）、无监督聚类和拓扑分析，以自动化显微镜控制、样品扫描、图像分割和智能分析，通过提示工程消除了额外培训的需求。在分析典型的MoS2样品时，我们的方法在单层识别方面的分割准确率达到99.7%，与人类专家相当。此外，集成模型能够检测人类肉眼难以识别的晶界裂缝。此外，该系统在焦深变化、色温波动和曝光变化等可变条件下仍保持稳健的准确性。无论这些材料是通过化学气相沉积还是机械剥离法制备的，该系统都适用于包括石墨烯、MoS2、WSe2、SnSe在内的多种常见2D材料。这项工作展示了基础模型的应用，实现了自主分析，建立了一种可扩展和数据高效的表征范式，从根本上改变了纳米尺度材料研究的方法。